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專注于激光器、激光量測(cè)、光學(xué)元件、精密光機(jī)、激光器維修以及高精密光學(xué)系統(tǒng)

產(chǎn)品中心

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準(zhǔn)分子激光器

準(zhǔn)分子激光器

準(zhǔn)分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì)，是產(chǎn)生大能量、重復(fù)頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長(zhǎng)激光器對(duì)材料有良好的冷剝離能力，同時(shí)成像分辨率較高，廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領(lǐng)域。

所屬品牌： 德國(guó)/ATL Lasertech

應(yīng)用類型： 激光器

產(chǎn)品型號(hào)： 參考商品詳情

負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理

聯(lián)系電話：13530351649 

電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com



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準(zhǔn)分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì)，是產(chǎn)生大能量、重復(fù)頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長(zhǎng)激光器對(duì)材料有良好的冷剝離能力，同時(shí)成像分辨率較高，廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領(lǐng)域。

所屬品牌： 德國(guó)/ATL Lasertech

應(yīng)用類型： 激光器

產(chǎn)品型號(hào)： 參考商品詳情

負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理

聯(lián)系電話：13530351649 

電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com



   

   一、簡(jiǎn)介

   德國(guó)ATL Lasertech公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、短脈沖準(zhǔn)分子激光器，主要應(yīng)用于：

? 眼科手術(shù)

? 玻璃及塑料微加工

? 微制造

? 激光剝蝕

? TOF質(zhì)譜

? FBG刻寫


   ATL提供ATLEX、專用于FBG刻寫的ATLEX-FBG系列，低負(fù)荷的ATLEX-LR系列，以及非常緊湊的ATLEX-S系列。產(chǎn)品采用一系列獨(dú)到的設(shè)計(jì)以滿足工業(yè)級(jí)應(yīng)用需求：

? 軟電暈預(yù)電離

? 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器

? 激光頭容積<3L

? 全金屬-陶瓷管路

? 集成真空泵及鹵素過(guò)濾器

? 全風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理

? RS485，RS232，USB以及光纖接口

? 可沖洗光具座

? 能量穩(wěn)定模式



二、產(chǎn)品型號(hào)

1、ATLEX-I系列

  ATLEX-I依據(jù)重復(fù)頻率的不同，分為ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三個(gè)型號(hào)。


1.png


技術(shù)參數(shù)：



增益介質(zhì)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長(zhǎng)(nm)

157

193

248

308

351

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

最高脈沖能量(mJ)

1

10

15

8

7

最高平均功率(W)

ATLEX-300-I

0.2

2.4

4.0

2.0

1.7

ATLEX-500-I

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

ATLEX-1000-I

N/A

8

10

N/A

N/A

最高重頻(Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

ATLEX-1000-I

1000

脈沖寬度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束發(fā)散角(mrad)

1×2

能量穩(wěn)定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300



2、ATLEX-FBG系列


   ATLEX-FBG系列專為FBG刻寫設(shè)計(jì)，具備較好的空間相干性指標(biāo)。ATLEX-FBG共300、500兩個(gè)型號(hào)。



2.png


 技術(shù)參數(shù)：


增益介質(zhì)

ArF

KrF

波長(zhǎng)(nm)

193

248

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

最高脈沖能量(mJ)

10

15

空間相干性(光斑豎直方向)(um)

>300

最高平均功率(W)

ATLEX-300-I

2.4

4.0

ATLEX-500-I

4.0

6.5

最高重頻(Hz)

ATLEX-300-I

300

ATLEX-500-I

500

脈沖寬度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束發(fā)散角(mrad)

1×2

能量穩(wěn)定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300


 

 3、ATLEX-LR系列

   ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation)設(shè)計(jì)。激光為193nm輸出優(yōu)化，同時(shí)具有非常快的上升沿和高峰值功率。


3.png


   技術(shù)參數(shù)：


增益介質(zhì)

ArF

波長(zhǎng)(nm)

193

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

最高脈沖能量(mJ)

12

能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出(mJ)

10

脈沖寬度(ns)

5

光束尺寸(mm)

4×6

光束發(fā)散角(mrad)

1×2

能量穩(wěn)定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

540×470×300



 4、ATLEX-S系列

   ATLEX-S具備更小的尺寸，適合低-中負(fù)荷的應(yīng)用。


4.png


   技術(shù)參數(shù)：

增益介質(zhì)

ArF

KrF

波長(zhǎng)(nm)

193

248

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

最高脈沖能量(mJ)

10

15

最高平均功率(W)

2.4

4.0

4

6

最高重頻(Hz)

300

500

300

500

脈沖寬度(ns)

5 - 8

光束尺寸(mm)

4×6

光束發(fā)散角(mrad)

1×2

能量穩(wěn)定性(rms)

3%

外形尺寸(mm, L×W×H)

630×400×300