專注于激光器、激光量測(cè)、光學(xué)元件、精密光機(jī)、激光器維修以及高精密光學(xué)系統(tǒng)
產(chǎn)品中心
準(zhǔn)分子激光器
準(zhǔn)分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì)，是產(chǎn)生大能量、重復(fù)頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長(zhǎng)激光器對(duì)材料有良好的冷剝離能力，同時(shí)成像分辨率較高，廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領(lǐng)域。
所屬品牌： 德國(guó)/ATL Lasertech
應(yīng)用類型： 激光器
產(chǎn)品型號(hào)： 參考商品詳情
負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理
聯(lián)系電話：13530351649
電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com
準(zhǔn)分子激光器采用ArF、KrF作為增益介質(zhì)，是產(chǎn)生大能量、重復(fù)頻率輸出的193nm、244nm激光輸出的主要手段。短波長(zhǎng)激光器對(duì)材料有良好的冷剝離能力，同時(shí)成像分辨率較高，廣泛用于微加工、掩膜刻寫、激光燒蝕等領(lǐng)域。
所屬品牌： 德國(guó)/ATL Lasertech
應(yīng)用類型： 激光器
產(chǎn)品型號(hào)： 參考商品詳情
負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理
聯(lián)系電話：13530351649
電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com
一、簡(jiǎn)介
德國(guó)ATL Lasertech公司專業(yè)生產(chǎn)小型化、高重頻、短脈沖準(zhǔn)分子激光器，主要應(yīng)用于：
? 眼科手術(shù)
? 玻璃及塑料微加工
? 微制造
? 激光剝蝕
? TOF質(zhì)譜
? FBG刻寫
ATL提供ATLEX、專用于FBG刻寫的ATLEX-FBG系列，低負(fù)荷的ATLEX-LR系列，以及非常緊湊的ATLEX-S系列。產(chǎn)品采用一系列獨(dú)到的設(shè)計(jì)以滿足工業(yè)級(jí)應(yīng)用需求：
? 軟電暈預(yù)電離
? 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
? 激光頭容積<3L
? 全金屬-陶瓷管路
? 集成真空泵及鹵素過(guò)濾器
? 全風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理
? RS485，RS232，USB以及光纖接口
? 可沖洗光具座
? 能量穩(wěn)定模式
二、產(chǎn)品型號(hào)
1、ATLEX-I系列
ATLEX-I依據(jù)重復(fù)頻率的不同，分為ATLEX-300-I、ATLEX-500-I、ATLEX-1000-I三個(gè)型號(hào)。
技術(shù)參數(shù)：
增益介質(zhì) | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | |
波長(zhǎng)(nm) | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | |||||
最高脈沖能量(mJ) | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | |
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 |
ATLEX-500-I | 0.5 | 4.0 | 6.5 | 3.0 | 2.5 | |
ATLEX-1000-I | N/A | 8 | 10 | N/A | N/A | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | ||||
ATLEX-500-I | 500 | |||||
ATLEX-1000-I | 1000 | |||||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | |||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | |||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | |||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | |||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 | |||||
2、ATLEX-FBG系列
ATLEX-FBG系列專為FBG刻寫設(shè)計(jì)，具備較好的空間相干性指標(biāo)。ATLEX-FBG共300、500兩個(gè)型號(hào)。
技術(shù)參數(shù)：
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |
空間相干性(光斑豎直方向)(um) | >300 | ||
最高平均功率(W) | ATLEX-300-I | 2.4 | 4.0 |
ATLEX-500-I | 4.0 | 6.5 | |
最高重頻(Hz) | ATLEX-300-I | 300 | |
ATLEX-500-I | 500 | ||
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 | ||
3、ATLEX-LR系列
ATLEX-LR 系列適合低負(fù)荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation)設(shè)計(jì)。激光為193nm輸出優(yōu)化，同時(shí)具有非常快的上升沿和高峰值功率。
技術(shù)參數(shù)：
增益介質(zhì) | ArF |
波長(zhǎng)(nm) | 193 |
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) |
最高脈沖能量(mJ) | 12 |
能量穩(wěn)定選項(xiàng)輸出(mJ) | 10 |
脈沖寬度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 |
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% |
外形尺寸(mm, L×W×H) | 540×470×300 |
4、ATLEX-S系列
ATLEX-S具備更小的尺寸，適合低-中負(fù)荷的應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)：
增益介質(zhì) | ArF | KrF | |||
波長(zhǎng)(nm) | 193 | 248 | |||
高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | ||||
最高脈沖能量(mJ) | 10 | 15 | |||
最高平均功率(W) | 2.4 | 4.0 | 4 | 6 | |
最高重頻(Hz) | 300 | 500 | 300 | 500 | |
脈沖寬度(ns) | 5 - 8 | ||||
光束尺寸(mm) | 4×6 | ||||
光束發(fā)散角(mrad) | 1×2 | ||||
能量穩(wěn)定性(rms) | 3% | ||||
外形尺寸(mm, L×W×H) | 630×400×300 | ||||
