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專注于激光器、激光量測、光學(xué)元件、精密光機(jī)、激光器維修以及高精密光學(xué)系統(tǒng)

產(chǎn)品中心

深紫外納秒脈沖固體激光器

深紫外納秒脈沖固體激光器

德國Xiton Photonics專注于窄線寬固體脈沖激光器及其頻率變換，其深紫外激光器尤為特色?；?064nm/1342nm的全固態(tài)DPSS調(diào)Q激光器可通過頻率變換提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光輸出及355nm、447nm、532nm、671nm等常規(guī)波長輸出。

所屬品牌： 德國/Xiton Photonics

應(yīng)用類型： 激光器

產(chǎn)品型號： 參考商品詳情

負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理

聯(lián)系電話：13530351649 

電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com



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德國Xiton Photonics專注于窄線寬固體脈沖激光器及其頻率變換，其深紫外激光器尤為特色?；?064nm/1342nm的全固態(tài)DPSS調(diào)Q激光器可通過頻率變換提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光輸出及355nm、447nm、532nm、671nm等常規(guī)波長輸出。

所屬品牌： 德國/Xiton Photonics

應(yīng)用類型： 激光器

產(chǎn)品型號： 參考商品詳情

負(fù)責(zé)人：肖經(jīng)理

聯(lián)系電話：13530351649 

電子郵箱：jimmy.xiao@strongprec.com



  

  一、簡介

 多數(shù)Xiton激光器具備TEM00模式輸出，保證優(yōu)越的聚焦性能，適合直寫等應(yīng)用；單縱?；蛘€寬性能是Xiton激光器的另一特征，長長度確保可用于傳統(tǒng)上采用氣體激光器的計量、全息、光刻等應(yīng)用。相比傳統(tǒng)深紫外波段的氣體激光器，固態(tài)激光器體積小、壽命更長，維護(hù)成本更低。


  二、產(chǎn)品系列

  1、IXION 193深紫外激光器

  IXION 193為全固化單頻激光器，其線寬達(dá)到變換極限，可用于光學(xué)計量、193nm步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。


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型號

IXION 193 SLM

波長

193.368nm （可選185-194nm）

平均功率

10mW

脈沖寬度

8 - 12ns

單脈沖能量

1.6uJ

重復(fù)頻率

1-15kHz

M2

<1.6

線寬

80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1

相干長度

>2m

調(diào)諧范圍

>80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1


  典型應(yīng)用

     ? 光譜儀校準(zhǔn)

     ? 光刻

     ? 干涉儀

     ? 193nm計量測量

     ? 準(zhǔn)分子激光器種子源



  2、SLM系列單縱模激光器

  SLM系列提供1064nm，532，355，266，213nm 等多個波長的單縱模、窄線寬納秒激光輸出。


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型號

SLM-213

SLM-266

SLM-355

SLM-532

SLM-1064

波長

213nm

266nm

355nm

532nm

1064nm

平均功率

>100mW

500mW

2W

4W

10W

脈沖寬度

6-8ns

8-10ns

10-12ns

10-15ns

15-25ns

單脈沖能量

10uJ

50uJ

200uJ

400uJ

1mJ

重復(fù)頻率

1-15kHz

1-20kHz

1-15kHz

1-15kHz

1-15kHz

M2

<1.6

<1.7

<1.5

<1.2

<1.2

線寬

<80MHz

<80MHz

<60MHz

<60MHz

<40MHz

相干長度

1.5m

>1.8m

>2.5m

2.5m

3.8m

脈沖抖動

2.5%

<2.0%

<2.0%

<1.0%

<0.4%


  典型應(yīng)用

     ? 激光雷達(dá)

     ? 干涉計量

     ? 光刻

     ? 光纖布拉格光柵（FBG）制造

     ? 光譜儀校準(zhǔn)

     ? 計量學(xué)

     ? 全息



  3、EXCITE系列

  EXCITE系列尺寸較SLM系列為小，提供266nm - 1064nm單頻納秒脈沖激光。


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型號

EXCITE 266

EXCITE 355

EXCITE 532

EXCITE 1064

波長

266nm

355nm

532nm

1064nm

平均功率

150mW

400mW

2.5W

6W

脈沖寬度

10-15 ns

14-18 ns

15-20 ns

20-30 ns

單脈沖能量

7.5uJ

20uJ

125uJ

300uJ

重復(fù)頻率

1-30kHz

1-30kHz

1-30kHz

1-30kHz

M2

<1.7

<1.3

<1.2

<1.2

線寬

<60MHz

<50MHz

<50MHz

<30MHz

相干長度

>2.5m

>3.0m

>3.0m

>5m


  典型應(yīng)用

      ? Wafer檢測

      ? 光致發(fā)光

      ? 干涉測量

? 拉曼光譜

? 光纖布拉格光柵（FBG）制造

? 光譜儀校準(zhǔn)

? 計量學(xué)

? 全息

? 干涉直寫



4、IMPRESS 213

  IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蝕、鉆石及藍(lán)寶石打標(biāo)加工等應(yīng)用，213nm波長及TEM00模式使它可以用于小于微米的直寫加工。固體深紫外激光器相對于氬離子激光器，具備更佳的壽命、穩(wěn)定性，更低的能耗和熱負(fù)荷，適用7×24工業(yè)環(huán)境運行。


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平均功率

150mW

脈沖寬度

6-8ns

單脈沖能量

15uJ

重復(fù)頻率

1-30kHz

M2

<1.6


  典型應(yīng)用

? FBG刻寫

? 鉆石打標(biāo)

? 波長敏感處理

? 立體光刻

? 半導(dǎo)體檢測

? 替代倍頻氬離子激光器

? 光致發(fā)光



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5、IMPRESS 224

  IMPRESS 224提供介于213nm與266nm之間的224nm波長輸出，滿足部分對波長有特殊要求的應(yīng)用（如增強(qiáng)拉曼光譜、痕量氣體分析等）。


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平均功率

300mW

脈沖寬度

<9ns

單脈沖能量

>30uJ

重復(fù)頻率

0.1-30kHz

M2

<1.6


  典型應(yīng)用

? FBG刻寫

? 波長敏感處理

? 立體光刻

? 顯示面板修復(fù)

? 微加工

? 半導(dǎo)體檢測

? 替代倍頻氬離子激光器

? 光致發(fā)光



6、IDOL系列

  IDOL系列產(chǎn)生特殊的1342nm波長及其倍頻（671nm）、三倍頻（447nm），其中1342nm特別適合硅材料處理如隱形劃片、集成電路修剪，而671nm、447nm則在顯示平板修補領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。


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型號

IDOL 1342

IDOL 671

IDOL 447

波長

1342nm

671nm

447nm

平均功率

4.5W

2W

1.5W

脈沖寬度

12-26 ns

10-12 ns

11-13 ns

單脈沖能量

300uJ

130uJ

100uJ

重復(fù)頻率

1-50kHz

1-30kHz

1-30kHz

M2

<1.2

<1.2

<1.3


  典型應(yīng)用

? 顯示面板修補

? 隱形劃片

? 波長敏感處理

? 硅材料處理

? 微加工